表面形状测量系统

超高精度平面度测量装置　SF-640M

“让看不见的世界变成看得见”

NANOMETRO®　F系列

对晶圆、FPD用玻璃基板等表面形状进行高精度测量。

对于盘表面形状测量系统

NANOMETRO®　FR系列

对陶瓷板等平面度进行高精度测量

油压夹具

面向大口徑工件的液壓夾具

大口徑工件也可高精度夾持

油压夹具

跳动精度控制高达“1μm”。优异的夹持精度，适合从成形加工到检验的各类用途。