表面形状测量系统

表面形状测量系统

超高精度平面度测量装置　SF-640M

“让看不见的世界变成看得见”

NANOMETRO®　F系列

对晶圆、FPD用玻璃基板等表面形状进行高精度测量。

对于盘表面形状测量系统

NANOMETRO®　FR系列

对陶瓷板等平面度进行高精度测量